真空丈量是真空技術(shù)中的一個重要組成部分。用于丈量真空度的儀器稱為真空計。
真空爐及真空熔煉爐常用的真空計有：熱偶真空計電離真空計等。它們的作業(yè)原理如下：
（一）熱偶真空計
熱偶真空計由敏感元件、熱偶規(guī)管和丈量儀器組成。熱偶規(guī)管與被測真空體系相通，外殼為玻璃管，管內(nèi)有加熱絲和熱偶絲。熱偶絲的冷端和熱端溫度不一起，因為溫差效應，在回路中有熱電勢發(fā)生。如加熱絲電壓堅持穩(wěn)定，則熱偶絲的電勢限決于加熱絲的溫度，而加熱絲的溫度與被測氣體的壓強有關(guān)。壓強低，氣體熱導率小，被氣體帶走的熱量少，加熱絲溫度升高，熱偶絲的熱電勢增大；反之，則熱電勢減少?；芈分械臒犭妱萦煤练碚闪浚碇械暮练鼣?shù)即反映出真空度的凹凸。為了確保加熱絲的電壓穩(wěn)定，而接入了穩(wěn)壓電源。所以丈量儀器是由丈量熱電勢的毫伏表和規(guī)管加熱絲穩(wěn)壓電源兩部分組成。

（二）電離真空計
這種真空計主要用于丈量高真空度。在低壓強氣體中，氣體分子被電離生成的正離子數(shù)與氣體壓強成正比按照離發(fā)生的辦法不同，利用熱陰極發(fā)射電子使氣體電離的真空計叫熱陰極電離真空計；其間，熱陰極電離真空計由熱陰極規(guī)管和丈量儀器組成。丈量儀器由規(guī)管作業(yè)電源、發(fā)射電流穩(wěn)壓器、離子流丈量擴大器等部分組成。熱陰極電離規(guī)管與被測真空體系相通。熱陰極電離規(guī)管是一個三極管，管內(nèi)有陰極、柵及和搜集極。搜集極電位相對于陰極電負電位；柵極相對于陰極電正電位。當電離規(guī)管通電加熱后，陰極發(fā)射電子，在電子到達柵極的過程中，與氣體分子碰撞而發(fā)生正離子和電子的電離現(xiàn)象。當發(fā)射電流一守時，正離子數(shù)日與被測氣體壓強成正比。正離子被搜集極搜集后，經(jīng)丈量電路擴大，可由批示電表讀出所要丈量的真空度（箱式爐）。
（三）復合真空計
通常，對低真空和高真空的丈量不能用一種真空計來完成，而應選用復合真空計，使用較多的是電離與熱偶式復合真空計。它的丈量范圍為13.33--666.6×10-8Pa。熱偶真空計丈量（10-1--10-3)×133.32Pa的低真空；電離真空計丈量133.32×10-3--666.6×10-8Pa的高真空。復合真空計附有一個熱偶規(guī)管、一個電離規(guī)管，別離接在真空體系上，經(jīng)過旋鈕可別離給兩個規(guī)管加熱，并挑選使用。

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